白光干涉輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸，典型結果包括：

　　1. 表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等等）。

　　2. 幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數量等等）。

　　白光干涉儀是目前三維形貌測量領域的高精度檢測儀器。在同等放大倍率下，測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領域，除了白光干涉儀，其它儀器達不到檢測的精度要求。

　　白光干涉儀由以下幾部分構成：

　　1. 光學照明系統(tǒng)采用鹵素光源，其中心波長為576納米，光譜范圍從340納米到780納米。

　　2. 光學成像系統(tǒng)采用無限遠光學成像系統(tǒng)，由顯微物鏡和成像目鏡組成。垂直掃描控制系統(tǒng)由壓電陶瓷以及控制驅動器構成，采用閉環(huán)反饋控制方法，可精密驅動顯微物鏡上下移動，移動范圍100mm。位置移動精度為0.1納米。

　　3. 信號處理系統(tǒng)信號處理系統(tǒng)是該儀器的核心部分，由計算機和數字信號協(xié)處理器構成。利用計算機采集一系列原始圖像數據。然后使用專用的數字信號協(xié)處理器完成數據解析作業(yè)。

　　4. 應用軟件主要由操作控制部分，結果顯示部分以及后處理部分組成。主要用于操作控制表面形狀測量儀器。同時，以三維立體，二維平面以及斷面分布曲線方式顯示實時測量結果。并可對測量結果作進一步的修正處理。