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VT6000高精度共聚焦顯微鏡基于共聚焦技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描與智能3D建模算法，可實(shí)現(xiàn)對納米至微米級表面形貌的高精度測量，覆蓋光滑、粗糙、低反射至高反射等多樣化材料表面。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、3C電子、汽車零部件、航空航天、MEMS器件等超精密加工領(lǐng)域，助力企業(yè)提升質(zhì)量控制效率與產(chǎn)品研發(fā)能力。

CEM3000實(shí)驗(yàn)室臺式掃描電鏡用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析。臺式結(jié)構(gòu)節(jié)省空間，可置于桌面或狹小環(huán)境（如手套箱、車廂）。

NS系列半導(dǎo)體臺階儀應(yīng)用場景適應(yīng)性強(qiáng)，其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求，可測量沉積薄膜的臺階高度、抗蝕劑（軟膜材料）的臺階高度等。

CEM3000系列高易用性掃描電鏡高易用性快速成像、一鍵成片，無需過多人工調(diào)節(jié)。具有出色的電子光學(xué)系統(tǒng)，優(yōu)于4nm的空間分辨率，保證了高放大倍數(shù)下的清晰成像，能夠滿足納米尺度的形貌觀測需求。

CEM3000抗振防磁掃描電鏡可以進(jìn)入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中，該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù)，展現(xiàn)出色的性能。也可通過加裝各類探頭和附件，滿足用戶的拓展性需求，這使其在材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)、能源等多個領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

CEM3000系列臺式掃描電子顯微鏡采用的鎢燈絲電子槍可以在相對較低的真空度下工作，通常只需要兩級真空泵系統(tǒng)獲得 0.001Pa 左右的真空度即可滿足要求，而不需要像場發(fā)射電子槍那樣的超高真空環(huán)境，這不僅降低了真空系統(tǒng)的復(fù)雜度和成本，還縮短了抽真空的時間，提高了工作效率。