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VT6000系列國產(chǎn)共聚焦3D顯微鏡在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。它以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。

SuperViewW白光干涉測量膜厚儀器3D重建算法自動濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，測量精度可達(dá)亞納米級別。不通倍率的鏡頭，適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。

中圖儀器SEM掃描電鏡用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析。標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。

CEM3000系列桌面式掃描電子顯微鏡標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。

NS系列臺階薄膜測厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。采用線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

CEM3000國產(chǎn)桌面掃描電鏡是一款用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備。不同于立式電鏡，CEM3000系列臺式掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實(shí)時呈現(xiàn)所得結(jié)果。