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光學(xué)表面輪廓檢測(cè)儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

中圖儀器光學(xué)表面輪廓檢測(cè)儀可以測(cè)到12mm,也可以測(cè)到更小的尺寸,XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別,因此可測(cè)非常微小尺寸的器件。

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2025-04-05
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1900
詳細(xì)介紹在線留言

中圖儀器光學(xué)表面輪廓檢測(cè)儀的重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達(dá)0.1nm。


SuperViewW1 光學(xué)3D表面輪廓儀的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì),既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng),同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng),確保儀器在車間也能正常工作。


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技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺(tái):尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動(dòng)

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

可測(cè)樣品反射率:0.05%-100%

水平調(diào)整:±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm

臺(tái)階高測(cè)量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測(cè),一鍵分析,測(cè)量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取


SuperViewW1光學(xué)表面輪廓檢測(cè)儀載物臺(tái)尺寸為320*200mm(可定制),行程為140*110mm(可定制);測(cè)量的Z向范圍可達(dá)10mm(2.5X鏡頭),Z向的最高精度可達(dá)0.1nm。


【測(cè)量小尺寸樣品時(shí)】可以測(cè)到12mm,也可以測(cè)到更小的尺寸,XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm,局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別,鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別,因此可測(cè)非常微小尺寸的器件;


【測(cè)量大尺寸樣品時(shí)】支持拼接功能,將測(cè)量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致,可達(dá)0.1um;

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SuperViewW1 光學(xué)3D表面輪廓儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實(shí)時(shí)視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。


深圳市中圖儀器股份有限公司是國家高新技術(shù)企業(yè),致力于精密測(cè)量、計(jì)量檢測(cè)等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐,專業(yè)覆蓋面廣,專項(xiàng)技術(shù)能力強(qiáng),具備了從納米到百米為用戶提供精密測(cè)量解決方案的能力。

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