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NS系列探針式膜層厚度表面粗糙度臺階儀可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。樣品適應面廣，對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，數據復現性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。

中圖儀器NS系列臺階厚度儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。

中圖儀器NS系列薄膜厚度臺階測量儀集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術，具備超高的測量精度和測量重復性。它主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。

NS系列接觸式臺階儀測膜厚儀超精密接觸式測量微觀輪廓，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

NS系列接觸式表面形貌臺階測量儀用于測量臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數，是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調節(jié)的能力和亞埃級的分辨率。

NS系列微納樣品接觸式微觀表面臺階測量儀對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求，廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領域內的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，其對表面微觀形貌參數的準確表征，對于相關材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。