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中圖儀器光學表面輪廓檢測儀可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標準行程為140*110mm，局部位移精度可達亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達0.4um，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件。

中圖儀器SuperViewW系列三維光學表面輪廓儀分辨率可達0.1nm，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測?？梢詮V泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

SuperViewW系列三維輪廓測量儀分辨率0.1μm，重復性0.1%，具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

SuperViewW1系列光學表面輪廓儀采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計，可實現(xiàn)高0.05%的測量精度重復性和0.002nm的粗糙度RMS重復性，詮釋始終如一的測量品質(zhì)。

光學輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理，對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)的3d輪廓儀是用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器?？梢赃_到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。